1.특구기업 ㈜아이에스피, 반도체 두께 측정기술 혁신으로 세계시장 도전
지난 1973년 노동수출국가에서 기술 강국을 꿈꾸며 시작한 대덕연구개발특구가 올해로 50주년을 맞이한 가운데 1992년 우리별1호부터 2023년 누리호 위성 발사성공까지 다양한 연구 성과를 일궜다.
2015년 전북도에도 전북연구개발특구가 지정되어 전주시, 정읍시, 완주군 지역을 중심으로 지역기업과 대덕특구 등 국가 연구 성과 사업화에 앞장서고 있으며, 2025년 이면 출범 10주년을 맞이한다.
이에 전북특구 첨단기술기업·연구소기업들로 함께 성장한 기업들을 3회에 걸쳐 소개하면서 전북도 미래 성장 가능성을 점검해봤다. /편집자 주
정부는 점차 시장이 증대하고 있는 반도체․디스플레이, 이차전지 등 '새 정부 소재․부품․장비 산업정책방향' 발표했다.
반도체 산업 중 '전 세계 반도체 검사장비 시장'의 가치는 2020년 6억 8,270만 달러, 2026년 말에는 7억 6,610만 달러, 2020~2026년 기간 2.1% CGAR 성장할 것으로 예상하고 있다.
이처럼 제조업의 뿌리라고 할 수 있는 소부장 산업에서 고품질의 반도체 생산․공급을 위한 품질관리 기술이 날로 중요해지고 있다.
전북연구개발특구 내 첨단기술기업으로 인정받은 ㈜아이에스피(대표 박정권)는 PCB, 전자부품, 반도체 등 공정 및 품질관리에 필요한 두께측정 및 성분검사 장비를 제조하는 소부장기업이며 XRF 및 X-Ray CT 분야 전문기업이다.
형광 X-선 분석 기술과 정밀 도금의 두께를 측정하는 형광 X-선 도금두께 측정기술과 전자빔을 이용한 고 분해능 영상처리 기술을 보유하고 있다.
현재까지 국외 기술에만 의존하였던 XRF 기술의 국산화를 통해 비용 절감의 효과 및 서비스를 고객에게 제공하고 있다.
㈜아이에스피는 2004년 설립해 꾸준한 연구개발을 통해 기술력을 확보했으며, 이를 바탕으로 지난 2019년부터 현재까지 ‘첨단기술기업’으로 지정되어 기술혁신 및 기업성장 속도를 한층 더 높이고 있다.
첨단기술기업이란 연구개발특구에 입주한 기업 가운데 기술 집약도가 높고 기술혁신속도가 빠른 기술 분야의 제품을 생산·판매하는 기업으로 ‘연구개발특구법’에 따라 과학기술정보통신부로부터 지정을 받는다.
따라서 전북특구본부는 1:1 맞춤컨설팅 진행을 통해 첨단기술기업을 지원하며 첨단 기술기업간 협력 네트워킹, 기업의 역량 및 경쟁력 등을 바탕으로 기술신용평가와 ESG(환경․사회․지배구조) 역량평가 등으로 기업 성장 기반을 후속 지원하고 있다.
또한 기업 성장을 위해 투자금이 필요한 시점에 전북특구 엑셀러레이팅을 통해 전북도 펀드 운 영사 등 투자자 연계를 통해 약 40억 원 규모의 투자 유치에 성공했다.
그 결과 기업규모가 꾸준히 증가해 현재는 특허 10개, 특허출원 2개, 디자인등록 3개 등 다양한 지식재산권을 보유하고 있다.
더불어 2023년 기준 매출액 60억 원을 달성해 최근 금속 두께 자동화에 대한 시장 요구가 많아진 이후 30%의 성장을 이루었다.
최근에는 대덕연구개발특구에 위치한 한국표준과학연구원, 나노종합기술원과 협력해, 공공기술을 활용한 약 69억 원 규모의 기술 장비 개발을 진행 중이다.
반도체 제조공정 중 하나인 CMP는 요철이나 굴곡이 있는 웨이퍼의 표면을 화학·기계적 요소를 통해 연마해 평탄화하는 공정으로 Metal(Cu,W)-CMP 두께측정 검사는 반도체 인라인 모니터링에 필수적인 기술이다.
현재 일본 회사가 엑스선 형광분석기를 상용화하고 있지만 인라인 모니터링 방식은 아니다.
미국·이스라엘 회사가 Cu-CMP 두께 측정을 인라인하고 있지만 간접적 측정 방식으로 하고 있어 직접 Cu-CMP 두께 측정 하는 방식은 어려운 실정이다.
따라서 우수한 전문 인력과 기술을 보유한 연구원과 관련 장비제조 및 경험을 다수 보유한 기업이 만나 세계 최초 인라인 XRF 금속두께 계측장비의 원천기술 확보를 목표로 하고 있다.
이렇게 점차 나노스케일의 반도체 기술이 요구되는 상황에서 위와 같은 공동협력과제를 통해 경쟁력 있는 기술을 보유한다면 반도체 소자의 신뢰성을 향상시키고 혁신적인 수율향상을 기대할 수 있을 것이다.
또한 성분 분석 등 다양한 분야의 기술 활용으로 반도체 계측장비 시장의 파급효과가 예상되며, 국가 정책적 측면에서도 반도체 측정 및 검사장비의 국산화로 인한 국가경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것이다.
박정권 ㈜아이에스피 대표는 “첨단기술기업 등 전북특구 육성사업을 통한 아낌없는 전․후방지원이 기업성장에 큰 도움이 되었다”며 “한국에서 유일한 엑스선 형광분석기술을 가지고 반도체, 배터리 등 금속 성분과 두께 측정분야에서 국내 최고는 물론 세계적 기업으로 성장 할 수 있도록 노력하겠다”고 말했다.