반도체 공정에서의 측정 기술이 갖는 속도의 한계를 극복해 양질의 차세대 반도체 생산 수율을 획기적으로 높일 수 있는 기술을 전북대학교 김대석 교수(공대 기계시스템공학부)가 개발한다.
  전북대는 김대석 교수가 삼성전자가 지원하는 ‘삼성미래기술육성사업’에 선정, 2년 간 6억 원의 지원을 받아 차세대 반도체 생산공정 혁신기술 개발에 나선다고 21일 밝혔다.
  삼성미래기술육성사업은 삼성전자가 기초과학, 소재기술, ICT의 3개 연구분야에 2013년부터 10년 간 총 1조 5천억 원을 출연해 국가 미래기술 육성을 지원하는 프로그램이다. 
/이병재기자·kanadasa@